二、設(shè)備原理與結(jié)構(gòu)

1. 真空腔：采用不銹鋼材質(zhì)，確保密封性和耐腐蝕性，內(nèi)部配置樣品架及溫度傳感器。
2. 制冷系統(tǒng)：分為機(jī)械制冷（-80℃）和液氮制冷（-170℃），通過(guò)熱交換實(shí)現(xiàn)溫度控制。
3. 真空系統(tǒng)：由機(jī)械泵、羅茨泵、分子泵組成，可實(shí)現(xiàn) 1.3×10?3 Pa（無(wú)冷阱）至 5×10?? Pa（含冷阱）的真空度。
4. 控制系統(tǒng)：通過(guò) PID 算法調(diào)節(jié)溫度和真空度，支持手動(dòng) / 自動(dòng)模式切換，并配備實(shí)時(shí)監(jiān)控界面。

三、操作流程詳解

（一）準(zhǔn)備階段

1. 系統(tǒng)上電
   • 開(kāi)啟水冷系統(tǒng)，確保循環(huán)水流暢；依次接通磁流泵、空氣壓縮機(jī)、試驗(yàn)箱電源，等待 3-5 分鐘完成初始化。
2. 參數(shù)設(shè)置
   • 根據(jù)試驗(yàn)需求設(shè)定目標(biāo)溫度（-170℃~150℃）和真空度（常壓～0.5kPa），若需極限真空，需提前開(kāi)啟冷阱并注入液氮。

（二）抽真空操作

1. 自動(dòng)模式
   • 按 F2 進(jìn)入操作界面，選擇 “高真空”→“真空試驗(yàn)準(zhǔn)備”，系統(tǒng)自動(dòng)啟動(dòng)機(jī)械泵、羅茨泵、分子泵，約 18 分鐘完成加速。隨后點(diǎn)擊 “真空試驗(yàn)運(yùn)行”，逐級(jí)抽真空至設(shè)定值。
2. 手動(dòng)模式
   • 適用于壓力＞1E3Pa 的場(chǎng)景：
     • 開(kāi)機(jī)械泵→旁路閥→低閥，降至 1E3Pa 后關(guān)旁路閥，啟動(dòng)羅茨泵；
     • 壓力降至 3E0Pa 時(shí)關(guān)低閥，開(kāi)預(yù)閥→高閥→分子泵（需確保分子泵運(yùn)行正常后再開(kāi)高閥，避免油污染）。
3. 冷阱輔助
   • 若需達(dá)到 5×10?? Pa 真空度，需在冷阱中注入液氮，調(diào)節(jié)流量閥避免噴液，同時(shí)監(jiān)測(cè) “冷阱液氮出” 口溫度。

（三）溫度控制

1. 升溫
   • 通過(guò)石英燈輻射加熱，直接輸入目標(biāo)溫度并點(diǎn)擊 “運(yùn)行”，系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)功率。
2. 制冷
   • 機(jī)械制冷：溫度＞-80℃時(shí)直接設(shè)定，系統(tǒng)通過(guò)兩級(jí)壓縮機(jī)接力降溫。
   • 液氮制冷：溫度＜-80℃時(shí)，先機(jī)械制冷至 - 70℃，再開(kāi)啟液氮閥，系統(tǒng)自動(dòng)控制電磁閥注入液氮。

（四）開(kāi)箱與關(guān)箱

1. 開(kāi)箱流程
   • 試驗(yàn)結(jié)束后，將箱內(nèi)溫度升至 55℃保溫 30 分鐘，避免冷凝；開(kāi)啟氮?dú)馄浚▔毫?0.5MPa），點(diǎn)擊 “放氣閥” 充氮至箱門(mén)彈開(kāi)，立即關(guān)閉閥門(mén)。
2. 關(guān)箱檢查
   • 清理箱內(nèi)雜物，檢查傳感器、接線是否完好，確保無(wú)裸線；機(jī)械旋緊箱門(mén)后啟動(dòng)抽真空，箱門(mén)會(huì)自動(dòng)壓緊。

四、維護(hù)保養(yǎng)指南

1. 真空泵維護(hù)
   • 油位與油質(zhì)：每周檢查油位至油標(biāo)中心，新泵運(yùn)行 100 小時(shí)后換油，后續(xù)每 500 小時(shí)更換一次；若油質(zhì)變黑或含金屬粉末，需立即更換。
   • 部件檢查：每月清理排氣過(guò)濾器（冒煙時(shí)需更換），檢查軸套磨損情況，及時(shí)更換密封圈。
2. 制冷系統(tǒng)
   • 定期清潔冷凝器表面灰塵，確保散熱良好；檢查制冷劑壓力，若泄漏需補(bǔ)焊并重新充注。
3. 控制系統(tǒng)
   • 每季度校準(zhǔn)溫度傳感器，使用標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)對(duì)比顯示值，誤差超過(guò) ±0.5℃時(shí)需調(diào)整。

五、安全操作規(guī)范

1. 電氣安全
   • 設(shè)備必須接地，定期檢查電源線絕緣性；避免濕手操作，防止觸電。
2. 機(jī)械防護(hù)
   • 開(kāi)箱時(shí)佩戴隔熱手套，防止低溫凍傷；箱門(mén)關(guān)閉后嚴(yán)禁強(qiáng)行開(kāi)啟，需待壓力平衡。
3. 真空系統(tǒng)
   • 抽真空時(shí)避免高閥與低閥同時(shí)開(kāi)啟，防止回油；長(zhǎng)期停用前需將真空泵拆解，涂油保存。
4. 應(yīng)急處理
   • 若發(fā)生報(bào)警（如溫度失控、真空度異常），立即切斷電源，排查傳感器、加熱管或制冷壓縮機(jī)故障。

六、常見(jiàn)問(wèn)題與解決方案

1. 真空度不足
   • 原因：密封圈老化、管道泄漏、真空泵油污染。
   • 解決：更換密封圈，用氦質(zhì)譜檢漏儀定位漏點(diǎn)，清洗真空泵并換油。
2. 溫度波動(dòng)大
   • 原因：傳感器故障、加熱管老化、PID 參數(shù)未優(yōu)化。
   • 解決：校準(zhǔn)或更換傳感器，更換加熱管，重新設(shè)定 PID 參數(shù)。
3. 制冷效果差
   • 原因：制冷劑泄漏、冷凝器積塵、蒸發(fā)器結(jié)霜。
   • 解決：補(bǔ)漏并充注制冷劑，清潔冷凝器，化霜后檢查濕度控制。

七、實(shí)戰(zhàn)技巧與案例

1. 熱損失控制
   • 在樣品與冷阱間加裝丙烯酸玻璃墊片，可減少 83% 的熱損失（280K 時(shí)），提升溫度穩(wěn)定性。
2. 材料測(cè)試案例
   • 航空航天材料：預(yù)處理后在 - 196℃、10?? Pa 環(huán)境下保持 24 小時(shí)，通過(guò) SEM 和 XPS 分析表面結(jié)構(gòu)變化，對(duì)比初始與終力學(xué)性能。
3. 快速降溫技巧
   • 采用二次設(shè)定法：先設(shè)目標(biāo)溫度的 80%，待過(guò)沖回落后再設(shè)至目標(biāo)值，可減少溫度波動(dòng)。

八、結(jié)論